Die mikroanalytische Partikelanalyse kann bei einer Probe, die aus vielen Einzelkörnern besteht, diese einzeln erfassen und qualitativ und quantitativ bestimmen. In Kombination mit der energiedispersiven Analyse können auf diese Weise detaillierte genaue chemische Partikelbestimmungen erstellt werden.
Die erfassbaren Partikel können dabei bis zu wenigen mm groß sein. Aber auch Partikel, die deutlich weniger als einen Mikrometer groß sind, können erfasst und kategorisiert werden.
